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带你了解包装机械设备的可调度性分析

带你了解包装机械设备的可调度性分析

下面来看一下包装机械设备的可调度性分析

1.包装机械设备的可调度性分析的周期性调度过程分析

由包装机械设备的可调度性分析可知,集束型装备达到稳态时的调度过程是一个周期性过程,加工模块和机械手周期性重复执行加工和搬运作业,根据调度资源划分,稳态调度的生产周期分为加工模块循环周期和循环周期。

这是工位连续两次加工作业的时间间隔,T是机手连续两次从输入装载室卸载品圆的时间间隔,也就是品圆投料时间间隔由于集束型装备加工模块间没有缓冲模块,类似于n阶段串行流水线作业,系统达到稳态时各个加工模块和机械手的生产率相等,因此生产周期等于加工模块或机械手循环周期。

包装机械设备的可调度性分析由机械手在各工位的活动(装载、卸载、交换双臂、搬运和等待)时间构成:

其中,7=2(0m+D)+nB+∑n+6na为机械手活动的时间,包括:在加工模块和入输出装载室执行2(a+D次装载或者卸载活动时间:在加工模块执行れ次交換双臂活。

3.包装机械设备的可调度性分析可行的控制策略

在存在滞留时间约束的条件下,如果有吗+陽2+“+m,个品圆同时加工且存在可行调度,则系统具有较大产能:如果吗+m2+“"+个品圆同时加工不存在可行调度,则可以通过减少系统同时加工的晶圆数量来获得可行调度。

另外,加工时间并不是固定的,制程工程师在一定的技术允许范围内可以修改加工时间。因此,可以通过选择合适的加工时间使不可调度的问题变成可调度的问题,在实际生产中,制程工程师常常通过修改温度、压力和气体流量等参数改变晶圆的加工时间,同样留时间约東也可以做微小的修改。把加工时间P作为变量,滞留时间约束作为常量。

包装机械设备的可调度性分析也说明了在加工时间P为常量的情况下,保证系统可调度性也可以通过改变滞留时间约束,的大小来实现。

根据上述包装机械设备的可调度性分析讨论,本次提出三种将不可调度问题转换为可行调度问题的控制策略,具体如下

(1)减少系统参与加工的并行模块数目。

(2)修改加工时间。

(3)修改晶圆滞留时间约束。

希望以上对于包装机械设备的可调度性分析的信息对你有帮助。